原理:
物鏡將樣品發出的散射、反射、熒光光線校正為平行光束,后端搭配管鏡聚焦成像;
僅采集可遠距離傳播的傳播波,無法捕獲緊貼樣品表面、指數衰減的倏逝波,因此存在衍射分辨率上限;
優勢:可在物鏡與樣品間插入偏振片、分光鏡、相位環等光學附件,不產生像差畸變,適配多光路精密檢測系統。
應用場景:
工業檢測領域:用于半導體晶圓、厚層PCB板、大尺寸工件的表面缺陷觀測,長工作距離可避免鏡頭觸碰工件造成損傷。
生物科研領域:適配培養皿內活體細胞的長時間無接觸觀測,配合熒光模塊可實現多波長消像散成像,保障細胞活性不受鏡頭干擾。
特殊工況觀測:可在高溫爐腔、真空腔等封閉空間外,隔著透明窗口完成內部樣品的顯微觀測,無需打開腔體破壞實驗環境。
遠場顯微物鏡的使用注意事項:
清潔維護:使用專用鏡頭紙和光學清潔劑,避免劃傷鍍膜
避免碰撞:高倍物鏡工作距離短,操作時需小心避免物鏡與樣品碰撞
環境控制:溫度變化會引起焦距漂移,準確測量需在恒溫環境下進行
浸沒介質:油浸物鏡需使用匹配折射率的浸油,水浸物鏡使用去離子水
存儲:長期不用時放入干燥箱,避免鏡片發霉
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